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溅射MoS2膜对轴承形状及尺寸精度的影响
溅射MoS2膜对轴承形状及尺寸精度的影响
来源 :轴承 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dl_wan
【摘 要】
:
溅射法形成固体润滑膜是一种先进的加工工艺,MoS2是真空润滑性能最好的固体润滑剂,溅射MoS2膜的润滑性与基体材料及工艺参数有关.对不同基体材料、不同尺寸的轴承采用不同的
【作 者】
:
李娟
李建华
田林涛
【机 构】
:
洛阳轴承研究所,国家经贸委军品中心
【出 处】
:
轴承
【发表日期】
:
2002年7期
【关键词】
:
尺寸精度
溅射
固体润滑剂
固体膜润滑
形位偏差
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溅射法形成固体润滑膜是一种先进的加工工艺,MoS2是真空润滑性能最好的固体润滑剂,溅射MoS2膜的润滑性与基体材料及工艺参数有关.对不同基体材料、不同尺寸的轴承采用不同的溅射参数溅射MoS2膜,分析了镀膜对轴承尺寸及形状精度的影响.
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