溅射MoS2膜对轴承形状及尺寸精度的影响

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溅射法形成固体润滑膜是一种先进的加工工艺,MoS2是真空润滑性能最好的固体润滑剂,溅射MoS2膜的润滑性与基体材料及工艺参数有关.对不同基体材料、不同尺寸的轴承采用不同的溅射参数溅射MoS2膜,分析了镀膜对轴承尺寸及形状精度的影响.
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