高亮度蓝绿发光二极管芯片制造技术研究

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高亮度发光二极管(HB—LED)芯片制造是介于外延片生产和芯片封装的中间过程,通过光刻、等离子刻蚀(ICP)、掩模(PECVD)、电子束真空蒸发镀膜、研磨抛光、划片、裂片、点测等工艺技术研究,实现高亮度发光二极管芯片生产的产业化。由于具有体积小、低能耗、冷光源、使用寿命长、环保等特点,蓝、绿光LED应用前景十分广泛,比如全彩显示屏、背光源、汽车刹车灯、装饰灯、交通信号灯、景观照明以及通用照明等。
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