【摘 要】
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随着微机电系统的发展，微细加工技术成为了当今世界的研究热点。对微细电解铣削加工技术进行了深入研究，在难加工材料镍基高温合金上进行了一系列微细电解铣削加工工艺试验。首
【机 构】
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山东大学力学与机电装备联合工程技术研究中心,安徽理工大学机械工程学院
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随着微机电系统的发展，微细加工技术成为了当今世界的研究热点。对微细电解铣削加工技术进行了深入研究，在难加工材料镍基高温合金上进行了一系列微细电解铣削加工工艺试验。首先，基于微细电解铣削加工原理，自行研制了一套高精度微细电解铣削加工系统。其次，分组试验并分析了各主要参数，如铣削层厚度、加工电压、脉冲宽度、电极直径，以及电解液浓度等对形状精度和加工精度的影响规律。最后，通过优化加工参数，成功加工出了数个典型三维平面及曲面微结构，形状精度高，加工稳定性好，充分展现了微细电解铣削工艺在加工复杂金属微结构方面的巨大
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