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在薄膜材料的力学性能测定中，弹性模量是衡量材料软硬程度的重要指标。为了测定弹性模量，本文选取不同种类和厚度的金属薄膜材料，采用纳米压痕技术（nanoindentation）和激光超声技术（laser-acoustics）两种测试方法相互比较。以确保测试的准确性。两种方法在膜厚较大的试样测试中得到了大致相符的试验结果，相对误差最小达到2％。