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研究开发了一种新型垂直扫描白光显微干涉测量仪。基于Linnik显微干涉结构，设计了干涉测量仪的显微干涉系统，介绍了干涉系统的工作原理；设计了Z向一维位移工作台，介绍了其结构和驱动原理；分析TN量仪的工作原理，并采用标准样板对测量仪的测量精度进行了验证。
一种新型垂直扫描白光显微干涉测量仪
【摘 要】
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研究开发了一种新型垂直扫描白光显微干涉测量仪。基于Linnik显微干涉结构，设计了干涉测量仪的显微干涉系统，介绍了干涉系统的工作原理；设计了Z向一维位移工作台，介绍了其结构和
【机 构】
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湖北汽车工业学院,华中科技大学
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2010年1期
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