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提出一种新颖的采用薄膜技术在玻璃基底上构造微机构可调谐二维窄带滤光片阵列的方法对器件进行了膜系设计及光谱响应模拟通过器件的电动力学模型分析，设计出器件的形状与尺寸
微机构可调谐阵列滤光片的设计与模型分析
【摘 要】
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提出一种新颖的采用薄膜技术在玻璃基底上构造微机构可调谐二维窄带滤光片阵列的方法对器件进行了膜系设计及光谱响应模拟通过器件的电动力学模型分析，设计出器件的形状与
【机 构】
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浙江大学
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
：
国家自然科学基金;
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