SIMOX材料的SIMS分析

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对SIMOX材料进行了SIMS深度剖析,研究了电荷积累效应、二次离子传输效率等实验因素对测试结果的影响,氧检测的动态范围达三个量级。对国内、外的SIMOX材料做了对比研究。
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