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SIMOX材料的SIMS分析
SIMOX材料的SIMS分析
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fjlysy
【摘 要】
:
对SIMOX材料进行了SIMS深度剖析,研究了电荷积累效应、二次离子传输效率等实验因素对测试结果的影响,氧检测的动态范围达三个量级。对国内、外的SIMOX材料做了对比研究。
【作 者】
:
马农农
刘容
【机 构】
:
天津电子材料研究所
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1998年A12期
【关键词】
:
二次离子质谱
注氧隔离
深度剖析
硅
SOI材料
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对SIMOX材料进行了SIMS深度剖析,研究了电荷积累效应、二次离子传输效率等实验因素对测试结果的影响,氧检测的动态范围达三个量级。对国内、外的SIMOX材料做了对比研究。
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