【摘 要】
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吸合效应是许多微执行器都存在固有的不稳定性,基于RFMEMS（射频微机电系统）电容式开关改进（或消除）不稳定性的方法以及多层悬臂梁概念,设计了一种三层多级弯曲磁微执行器,分别用
【机 构】
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西安电子科技大学机电工程学院,航天长征火箭技术有限公司
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吸合效应是许多微执行器都存在固有的不稳定性,基于RFMEMS（射频微机电系统）电容式开关改进（或消除）不稳定性的方法以及多层悬臂梁概念,设计了一种三层多级弯曲磁微执行器,分别用磁动势控制模型和磁通控制模型对其吸合现象进行了研究。仿真结果表明：磁动势控制模型中,当所串联的中磁极厚度h1=0时,漏磁阻对临界吸合角度θPI无影响,θPI为系统最大旋转角度θmax的44%,θPI随h1增大而增大,随漏磁阻减小而减小,并且θPI/θmax存在极限值约为0.724;磁通控制模型中无论是否考虑漏磁阻,h1大小对临界吸合
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