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全站仪的出现至今已有二十多年的研制和发展过程，从早期德国Zeiss厂的Regeltea-14和瑞典AGA厂的Geoelimeter700发展至当今各国生产的几十种不同精度等级和功能的多种型号。特别是40年代推出的全站仪，已从过去少量的特殊功能发展到迄今功能齐全实用的智能型全站仪，已广泛应用于各个测量领域。全站仪的发展已改变着原来传统的作业方式，极大地提高了生产效率。