论文部分内容阅读
通过溶胶一凝胶法制备ZnO凝胶，在300℃预烧结。为了得到不同尺寸的ZnO粉体，并对ZnO粉体进一步纯化，将预烧粉体在不同温度，500℃、700℃、900℃下缓慢烧结，最后将所得粉体涂附在陶瓷管上，在450℃下烧结制备成气敏元件。测试所得的气敏元件对丙酮、乙醇、甲苯这些VOC气体的灵敏性。实验结果表明，500℃下烧结的粉体所作成的器件，对气体具有最大的灵敏度，其原因为随着烧结温度的增加，ZnO的颗粒变大，从而限制了固体与气体的反应面积。再以TiO2材料为掺杂剂，研究掺杂后元件的气敏特性。乙醇和甲苯的最佳工