纳米压印抗粘性技术研究进展

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:songshaona
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
纳米压印是一种理想的光刻技术,它具有生产率和分辨率高的特点.脱模过程中,粘连限制了图形的精确转移,因此,抗粘连成为纳米压印技术需要解决的关键问题.氟化自组装单分子层是一种被广泛应用的抗粘连涂层,介绍和分析了其在耐热性和降解方面的最新研究进展.介绍了类金刚石碳膜、在光刻胶上喷涂脱模剂和含氟表面活化剂在纳米压印抗粘连研究上的进展,分析了这些方法所存在的问题及纳米压印抗粘连的发展趋势.
其他文献
环境标准是伴随着环境立法而发展起来的.从18世纪60年代到19世纪中叶,人类社会发生了伟大的产业革命,大机器生产和科学技术成果的广泛应用,大幅度地提高了劳动生产,增强了人
国际标准化组织石油天然气工业用材料、设备和海洋结构委员会下设的油管套管和钻杆分技术委员会(ISO TC67/SC5)第十二届会议于2002年5月21~22日在荷兰戴尔夫特举行.参加本次会
1国际标准受到空前重视,其作用日益显著rn随着贸易全球化的步伐不断加快,世界范围内的货物和服务交流亦将空前增多,怎样使这种交流更顺畅、更高效,国际标准和国际认可标准乃
期刊
现今随着人们日常生活水平的提高,畜牧业的发展也开始有了前景.而同样畜牧技术的提升有关于现代畜牧业的发展,可以说是在其中起着重大作用.但我国现在畜牧业中畜牧技术还不够
期刊
土坝失事的原因经常是漫顶或管涌.为了减小土坝失事的威胁,对土坝溃口事件进行模拟是极其重要的.因此模拟大坝溃口的技术已成为大坝安全计划的基本部分.比较了几种土坝溃口模
期刊
发烧至上的分体式纯后级设计rn音响系统中的放大这一环节,采用前后级分体式设计是较为发烧的作法.由于前后级电路都有独立箱体空间,所以设计师更能够充分地发挥设计思路,追求
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
期刊