【摘 要】
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提出了一种基于光强信号实时判断的快速定焦方法,在对样品进行横向扫描的同时,驱动测量物镜轴向移动,对前焦探测器和后焦探测器采集到的光强信号进行实时处理,通过实时判断测
【机 构】
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北京理工大学光电学院"精密光电测试仪器及技术"北京市重点实验室;
【基金项目】
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国家自然科学纳米制造重大研究计划资助项目(91123014);国家重大科学仪器开发专项(2011YQ04013601);国家高技术研究发展计划(SS2012AA040507)
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提出了一种基于光强信号实时判断的快速定焦方法,在对样品进行横向扫描的同时,驱动测量物镜轴向移动,对前焦探测器和后焦探测器采集到的光强信号进行实时处理,通过实时判断测量面与样品的位置关系迅速找到焦面位置,可实现快速、准确的轴向定焦,极大地提升了定焦速度。理论分析和初步的实验表明,该方法在一副图像的采集周期内能够实现轴向定焦,在同等定焦精度条件下,与清晰度定焦方法相比,可节省90℅以上的定焦时间。
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