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为了实现MEMS器。阐述了MEMS调制器动态性能。对调制器的各种非理想因素分析,建立非理想模型,仿真结果表明:过采样率为512,调制器信噪比达到106dB。设计了CIC+IIR64倍降采样,滤波器输出数据有效位数达到16bits。
一种用于MEMS流量传感器的ΣΔADC
【摘 要】
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为了实现MEMS器。阐述了MEMS调制器动态性能。对调制器的各种非理想因素分析,建立非理想模型,仿真结果表明:过采样率为512,调制器信噪比达到106dB。设计了CIC+IIR64倍降采样,
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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电子设计工程
【发表日期】
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2019年7期
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