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传统的表面渗碳、渗氮热处理，工件表面渗层的硬度约为HVl000左右。与此相比，化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）以及等离子化学气相沉积（PCVD）等表面镀膜处理，工件表面硬度高达HV2000以上，因此对耐磨性、耐蚀性、抗高温特性要求较高的工具、金属型膜以及汽车零部件等广泛采用该表面镀膜技术实施表面硬化加工。概述了化学气相沉积、物理气相沉积工艺的特点、用途、存在问题与使用对应注意事项。重点介绍了日本东方工程公司开发的直流脉冲等离子化学气相沉积表面硬化技术的特点、用途、设备构成与实际应用例。