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采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上以醋酸锌水溶液[Zn（CH3COO）2·2H2O]、醋酸铵（CH3COONH4）和硝酸铝[Al（NO3）3·9H2O]的混合溶液为前驱体生成了N—Al共掺P型氧化锌薄膜。考察了前驱体溶液浓度、载气流速、热解温度对实验结果的影响。用XRD和SEM测试手段对薄膜进行了晶体结构和表面形貌的表征，结果表明所制备的薄膜为六角纤锌矿结构的氧化锌薄膜，表面均匀，结构致密，具有强烈的呈c轴垂直于衬底的（002）择优取向。对薄膜进行了电学测试和光致发光性能测试，结果表明制