微机电系统表面杂质的短脉冲激光脱附机理的研究

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【摘要】

：

纳米摩擦学的研究结果表明,对于MEMS系统,摩擦力是最主要的牵引力和驱动力；摩擦力的稳定性和微构件磨损率直接关系到MEMS系统工作的性能和使用的寿命，微执行构件与基底的粘着是

【作者】

：

周静波

【机构】

：

东南大学

【出处】

：

应用科技

【发表日期】

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2009年3期

【关键词】

：

微机电系统激光脱附表面杂质短脉冲 MEMS系统机理纳米摩擦学微构件

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纳米摩擦学的研究结果表明,对于MEMS系统,摩擦力是最主要的牵引力和驱动力；摩擦力的稳定性和微构件磨损率直接关系到MEMS系统工作的性能和使用的寿命，微执行构件与基底的粘着是导致MEMS系统失能的主要因素。粘着是由于有残余的微液体存，如水、微量的液体与微构件和基底在表面能的作用下牢固的吸附在一起，

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