【摘 要】
：
采用射频等离子体化学气相沉积(PECVD)法制备了SiNx薄膜.用X-射线荧光光谱、红外吸收光谱、红外反射光谱以及扫描电镜对薄膜的成分、结构、表面形貌和光学性质进行了初步研究
论文部分内容阅读
采用射频等离子体化学气相沉积(PECVD)法制备了SiNx薄膜.用X-射线荧光光谱、红外吸收光谱、红外反射光谱以及扫描电镜对薄膜的成分、结构、表面形貌和光学性质进行了初步研究.X-射线荧光分析表明SiNx薄膜的组成为SiN0.35.从红外透过光谱可见,氮参加了反应并生成Si-N键,薄膜中有少量的Si-H键和N-H键.红外反射光谱表明SiN0.35薄膜是非常好的窗口材料,在8～13 μm波段内具有很低的反射率,8～13μm波段外反射率高,适合制备辐射制冷体.SEM观察结果对薄膜的表面形态和生长机量给予了初步
其他文献
α－氯丙酸制成酰氯，与甘氨酸缩合得α－氯代丙酰甘氨酸，再与二硫化钠反应，经锌粉还原得硫普罗宁．总收率由原工艺的２２．７％提高到２９％（以氯丙酸计）．
通过田间试验研究2种不同保湿方法对金叶龟甲冬青扦插生根的影响,筛选出最适合的扦插保湿方法。结果表明：用塑料杯覆盖处理金叶龟甲冬青,其扦插成活率、插条生根数、平均根长
日光温室矮生菜豆剪枝再生的产量效应张金树李玉萍田祥东（山东省临沂农业学校２７６００３）（山东省临沂市九曲镇农技站）矮生菜豆适于日光温室、大棚套种。由于其开花结荚集中、采收期短，从采
新生儿先天性疾病苯丙酮尿症(PKU)和甲状腺功能低下症(CH)是严重危害人类健康的一类疾病.患儿共同的临床特征是智力低下和体格发育障碍,直接影响着我国人口素质的提高.
西咸新区生态文明建设是西咸一体化发展的一个重要的组成部分。要把西咸新区打造成为古朴典雅、现代别致的国际化大都市,笔者认为在生态文明建设方面要把人文和山水结合起来,
为保障我国数字城市产业化的良性健康发展，必须健全政策保障体系和资本支持体系，科学培育我国数字城市发展的产业环境。本文首先对对我国数字城市发展中存在的突出问题进行描述
由于钻井废弃泥浆流失会对环境造成严重污染，所以必须对废弃泥浆进行固化处理。通过大量实验研究，筛选出了分别适合于钻屑与高密度（ρ〉2.0g／cm^3）、中密度（ρ=1.6g/cm^3左右）、低密
我国是世界上地质灾害最严重的国家之一，灾害每年造成近千人死亡或失踪，经济损失高达几十亿元。据国土资源部公布的《2011年10月全国地质灾害灾情及11月地质灾害趋势预测》报告
德沃夏克,捷克著名的音乐家,捷克民族乐派的创立者之一。他一生创作了为数众多的音乐作品,但历史对德沃夏克的钢琴独奏作品并不公平,更准确地说是根本不屑一顾。虽然他的钢琴
本文通过国际环境上的金融风险在我国金融体系内外部传导途径和传导机制的分析,为我国金融体系在开放过程中所应采取的风险控制和防范措施进行设计,从而为我国金融改革的发展