Progress of power field effect transistor based on ultra-wide bandgap Ga2O3 semiconductor material

来源 :半导体学报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：feitianxueyuan110

【摘要】

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As a promising ultra-wide bandgap semiconductor, gallium oxide(Ga2O3) has attracted increasing attention in recent years. The high theoretical breakdown electri

【作者】

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Hang Dong Huiwen Xue Qiming He

【机构】

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KeyLaboratoryofMicroelectronicDevices&,IntegrationTechnology,UniversityofChineseAcademyofSciences

【出处】

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半导体学报:英文版

【发表日期】

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2019年1期

【关键词】

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GALLIUM oxide (Ga203) ULTRA-WIDE bandgap SEMICONDUCTOR power device field effect

【基金项目】

：

The National Natural Science Foundation of China (Nos.61521064,61522408,61574169, 61334007,61474136,61574166),the Ministry of Science and Technology of China (Nos.2016YFA0201803,2016YFA02038 00,2017YF

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As a promising ultra-wide bandgap semiconductor, gallium oxide(Ga2O3) has attracted increasing attention in recent years. The high theoretical breakdown electrical field(8 MV/cm), ultra-wide bandgap(~ 4.8 eV) and large Baliga’s figure of merit(BFOM) of Ga

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