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介绍了离子注入的技术特点及其在材料科学与工程中的应用,涉及离子注入在半导体及功能材料、金属材料、薄膜制备、非金属材料及材料科学理论研究中的应用,重点介绍了离子注入在薄膜研究中的应用。
离子注入技术及其在材料科学中的应用
【摘 要】
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介绍了离子注入的技术特点及其在材料科学与工程中的应用,涉及离子注入在半导体及功能材料、金属材料、薄膜制备、非金属材料及材料科学理论研究中的应用,重点介绍了离子注入
【机 构】
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国防科技大学材料工程与应用化学系
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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1997年06期
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