论文部分内容阅读
利用纳米硅薄膜良好的力学与电学特性，设计出超微压压力传感器芯片结构：双岛一梁一膜结构。利用ANSYS进行了静力分析、模态分析、谐反应分析、瞬态分析，结果表明：该结构具有灵敏度高、线性度好、动态响应快等优点。
纳米硅薄膜超微压力传感器设计与性能研究
【摘 要】
：
利用纳米硅薄膜良好的力学与电学特性，设计出超微压压力传感器芯片结构：双岛一梁一膜结构。利用ANSYS进行了静力分析、模态分析、谐反应分析、瞬态分析，结果表明：该结构具有灵敏
【机 构】
：
江苏大学微纳米研究中心,江苏工业学院低维材料微纳器件与系统中心
【出 处】
：
传感器与微系统
【发表日期】
：
2010年10期
其他文献
新近发现的细胞因子信号转导抑制因子（SOCS）家族，因其能够通过Janus激酶-信号传导和转录激活子（JAK-STAT）信号传导通路来反馈调节生长因子的信号或者抑制细胞因子的信号转导而倍受
X射线装置已被证实具有揭示物质的分子或原子特性的能力,这种特性对于探测违禁品是相当重要的,是一种非常有效的安全检查方法,已广泛地应用于车站、机场等重要场所,针对连续谱X射线CT系统,提出了一种新型的基于双能量曲线的物质密度识别算法。首先通过高、低能图像灰度值标定出物质的双能量曲线图,然后采用反向查找的方法确定被探测物质的厚度,最后利用滤波反投影重建算法重建出物质电子密度的分布,可以较快速高效地得到
社会主义现代化建设中，民众在生产生活里总是轮换着“生产者”与“消费者”两个角色。近来针对各商业银行同城ATM跨行手续费上调至4元的论题，电视、报刊、网络开展了全方位、多
为适应新形势对高素质化工专业人才的需求,本科实践教学中构建了以拓展、连贯、多样为特色的延伸式实践教学模式,形成了传统实践为基础、拓展实践为延伸、支撐课程为保障的一