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描述７６ＭＨｚ激光扫描声学显微镜的研究试制工作，介绍了激光扫描声学显微镜的基本结构。测试结果表明，该显微镜的分辩率达３０μｍ，探测深度达２ｍｍ，扫描面积达３ｍｍ×４ｍｍ，并已应用于我层陶瓷电容器的无损检测。最后给一些样品的声学像。
76MHz激光扫描声学显微镜的研究和试制
【摘 要】
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描述７６ＭＨｚ激光扫描声学显微镜的研究试制工作，介绍了激光扫描声学显微镜的基本结构。测试结果表明，该显微镜的分辩率达３０μｍ，探测深度达２ｍｍ，扫描面积达３ｍｍ×４ｍｍ，并已应用于我层陶瓷电容器的无损
【机 构】
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电子科技大学光电子技术系
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1997年5期
【基金项目】
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国防科工委资助
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