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原子力量显微镜学(AFM ) 把 nanochannels 的 nanomachining 基于硅氧化物表面理论上并且试验性地被调查。nanochannel 深度对切的速度， nanochannel 深度对正常力量，磨擦力量对切的速度的关系，和磨擦力量对正常力量系统地被学习。用导出的理论和制造方法，有期望的深度的 nanochannel 能被在位置上控制垂直偏转信号简单地用机器制造 AFM 的敏感察觉者。理论分析和制造方法能有效地为 nanochannels 的基于 AFM 的制造被使用。