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利用磁控溅射法在玻璃基片制备TbCo非晶垂直磁化膜，采用样品振动磁强计和磁转矩测量仪测量薄膜的磁性能和磁转矩曲线．结果表明：Cr底层、TbCo磁性层组分、溅射气压、基片偏压、退火温度和TbCo磁性层厚度对薄膜的磁各向异性能都有很大影响．．
TbCo磁化膜制备工艺对其垂直磁各向异性的影响
【摘 要】
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利用磁控溅射法在玻璃基片制备TbCo非晶垂直磁化膜，采用样品振动磁强计和磁转矩测量仪测量薄膜的磁性能和磁转矩曲线．结果表明：Cr底层、TbCo磁性层组分、溅射气压、基片偏压、退
【机 构】
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郧阳师范高等专科学校物理系,华中师范大学物理系
【出 处】
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郧阳师范高等专科学校学报
【发表日期】
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2008年3期
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