【摘 要】
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1.特点是什么?石英晶体微量天平是专门用来现场监测沉积或刻蚀的质量厚度的一种极为灵敏的仪器,一般在真空条件上使用。与一般真空天平相比,较为简单、方便而不娇脆,但不能
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1.特点是什么?石英晶体微量天平是专门用来现场监测沉积或刻蚀的质量厚度的一种极为灵敏的仪器,一般在真空条件上使用。与一般真空天平相比,较为简单、方便而不娇脆,但不能用于膜厚的事后检测,也不能检测搁置上去的微小质量,虽然极为灵敏,但精确度并不高。
1. What is the characteristic? The quartz crystal microbalance is an extremely sensitive instrument specifically designed to monitor the mass thickness of deposits or etchings on site, and is generally used under vacuum conditions. Compared with the general vacuum balance, simple, convenient and crisp, but not for the film thickness of the post-test, can not detect the slight mass on hold, although very sensitive, but the accuracy is not high.
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