【摘 要】
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研究了一种新型真空微电子氢气传感器,其原理为气体在高电压激发下发射出与其吸收光谱相同的特征光谱.用微机械加工方法在硅片上加工出密封的充满H2的微气室,在一定电压下阴
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研究了一种新型真空微电子氢气传感器,其原理为气体在高电压激发下发射出与其吸收光谱相同的特征光谱.用微机械加工方法在硅片上加工出密封的充满H2的微气室,在一定电压下阴极发射电子,气体分子被电离,发射特征光谱.当外界H-2存在时,会吸收特征光谱,这一吸收具有高选择性.微气室中微机械加工出纳米尺寸冷阴极硅尖端,在低电压下就可以产生场发射.检测器可以使用普通的光电二极管.
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