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期刊论文
高重复率小型准分子激光开关电源设计
高重复率小型准分子激光开关电源设计
来源 :激光杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:renj19861123
【摘 要】
:
设计了一种用于高重复率准分子激光器的正弦恒流型高压开关电源,逆变主电路采用串联谐振回路,输出电压10kV至15kV,重复率1Hz至300tk。分析了逆变回路工作情况,介绍了变压器的参数
【作 者】
:
游利兵
梁勖
黄德文
余吟山
【机 构】
:
中国科学院安徽光学精密机械研究所
【出 处】
:
激光杂志
【发表日期】
:
2009年4期
【关键词】
:
准分子激光
开关电源
串联谐振
高重复率
高压
excimer laser
switching power supply
series resonant
hi
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设计了一种用于高重复率准分子激光器的正弦恒流型高压开关电源,逆变主电路采用串联谐振回路,输出电压10kV至15kV,重复率1Hz至300tk。分析了逆变回路工作情况,介绍了变压器的参数计算方法和所采取的抗电磁干扰措施。电源体积小巧,运行稳定。经改进可使重复率提高到600Hz。
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