【摘 要】
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实验研究了不同乙炔与氩气流量比R对脉冲等离子体增强化学气相沉积（PECVD）类金刚石薄膜的沉积速率、AFM形貌、膜基结合强度、纳米压痕硬度以及弹性模量的影响。结果表明：薄膜沉
【机 构】
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辽宁科技大学材料与冶金学院,辽宁荣信兴业电力技术有限公司,鞍钢集团矿业设计研究有限公司工艺设计研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金（51502126,51672119）,辽宁科技大学省重点实验室开放项目（USTLKFS201705）
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实验研究了不同乙炔与氩气流量比R对脉冲等离子体增强化学气相沉积（PECVD）类金刚石薄膜的沉积速率、AFM形貌、膜基结合强度、纳米压痕硬度以及弹性模量的影响。结果表明：薄膜沉积速率随C2H2流量的增大而增大,在R为4：1时沉积速率达到最大0.8μm/h;不同气体流量比下薄膜的表面形貌均光滑致密,纳米硬度是316L不锈钢基体的3倍以上;R为3：1时,Raman光谱ID/IG值为最小,对应此流量比下的最高纳米硬度16.1GPa,且粗糙度最低,摩擦系数为0.206。
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