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近几年来 Si Ge C 三元合金受到人们的广泛关注,日益成为研究的热点之一。碳的加入为 Si- Ge 系统在能带和应变工程上提供了更大的灵活性。处于替代位置的碳能缓解 Si Ge 合金的应变,并调节其能带。总结了碳的加入对锗硅材料中应变的缓解及碳对合金能带结构的影响,尤其是对弛豫状态下的锗硅材料及锗硅碳材料的调节作用,并对其机理做了分析