【摘 要】
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利用微机电系统（MEMS）工艺，设计并制造了一种基于法拉第电磁感应定律的单片集成MEMS三轴磁场传感器。将两种不同结构的器件通过MEMS工艺集成到单一芯片上，完成单片集成MEMS三轴磁场传感器的制作。测试结果表明：在大气环境下，2S梁耦合器件对Z轴磁场的开环灵敏度为7.435μV/mT,非线性度为0.436%。当其用于Z轴磁场测量时，其对于X轴磁场的交叉轴抑制比γz,x为49.749 dB,对Y轴
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（515777186）；
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利用微机电系统（MEMS）工艺，设计并制造了一种基于法拉第电磁感应定律的单片集成MEMS三轴磁场传感器。将两种不同结构的器件通过MEMS工艺集成到单一芯片上，完成单片集成MEMS三轴磁场传感器的制作。测试结果表明：在大气环境下，2S梁耦合器件对Z轴磁场的开环灵敏度为7.435μV/mT,非线性度为0.436%。当其用于Z轴磁场测量时，其对于X轴磁场的交叉轴抑制比γz,x为49.749 dB,对Y轴磁场的交叉轴抑制比γz,y为46.324 dB;在大气环境下，扭转框结构器件对X轴磁场的开环灵敏度为2.223μV/mT,非线性度为0.49%。当其用于X轴磁场测量时，其对于Z轴的交叉轴抑制比γx,z为44.687 dB,对Y轴磁场的交叉轴抑制比γx,y为41.138 dB。
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