【摘 要】
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氧化铝概述氧化铝薄膜具有很多优异的材料特性,特别是高温稳定性、化学稳定性和低导热性。现在氧化铝薄膜被广泛应用在硬质合金刀片上作为耐磨涂层材料。尽管具有这些优异的
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氧化铝概述氧化铝薄膜具有很多优异的材料特性,特别是高温稳定性、化学稳定性和低导热性。现在氧化铝薄膜被广泛应用在硬质合金刀片上作为耐磨涂层材料。尽管具有这些优异的特性,但是氧化铝薄膜并没有被广泛应用到其它领域,主要原因是当今的行业标准仍然是建立在热化学气相沉积
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