【摘 要】
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传统方案将单体式二维MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)微镜作为扫描结构,但其制造工艺复杂且在工作过程中存在失效率高的问题.鉴于此,将成本更低廉的两个一维静电式ME
【机 构】
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西安工业大学光电信息工程学院,陕西西安710021;西安工业大学光电信息工程学院,陕西西安710021;中科芯集成电路股份有限公司,江苏无锡214101;贵州大学大数据与信息工程学院,贵州贵阳5500
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传统方案将单体式二维MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)微镜作为扫描结构,但其制造工艺复杂且在工作过程中存在失效率高的问题.鉴于此,将成本更低廉的两个一维静电式MEMS微镜进行封装组合以得到二维扫描器件模块,通过对器件的设计和制造工艺的研究,最终研制出MEMS二维扫描器件模块,整个器件模块具有结构紧凑、制造工艺简单、成本低、可靠性高且易于批量制造的优点.实验结果表明,MEMS二维扫描器件模块在X轴方向的扫描光学角度可达48.0°(驱动频率为28.25 kHz,电压160 V),在Y轴方向的扫描光学角度可达12.5°(驱动频率为3.80 kHz,电压为160 V),光学性能可媲美单体式二维MEMS微镜,满足微型激光投影领域的使用需求.
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