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以合成玻璃标样ＮＩＳＴ６１２、岩石标样ＪＧ－１ａ及ＪＢ－３的碱熔玻璃为代表，分别选用各种样品中主要元素或其次丰度同位素为内标，对比了３０个微量元素的激光针针ＩＣＰ质谱的分析精度，进而对内标进行优选。实验结果表明，不同样品类型所选择的内标稍有不同；不同质量和性质的元素对内标的选择无明显依赖关系，选用样品中基体元素为内标可以获得较好的分析精度；对ＪＧ－１ａ花岗岩类样品，选＾２９Ｓｉ，＾３０Ｓｉ，＾４３