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阐明了磁透镜原理,依照磁透镜理论和几何光学理论,给出一种确定磁透镜位置的方法.并将磁透镜技术应用到直流等离子射流化学沉积金刚石薄膜/类金刚石薄膜装置中,很好地消除了边界效应,实现高速大面积沉积高纯度金刚石薄膜/类金刚石薄膜的目标.
磁透镜技术及其在沉积金刚石／类金刚石薄膜中的应用
【摘 要】
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阐明了磁透镜原理,依照磁透镜理论和几何光学理论,给出一种确定磁透镜位置的方法.并将磁透镜技术应用到直流等离子射流化学沉积金刚石薄膜/类金刚石薄膜装置中,很好地消除了
【机 构】
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太原铁路分局工务分处
【出 处】
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太原科技
【发表日期】
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2005年3期
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