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针对多晶硅铸锭炉的温度控制,提出了一种基于微分先行算法的PID控制方法。应用结果说明,该PID控制方法能对多晶铸锭炉的温度进行有效控制。
基于微分先行PID算法的铸锭炉温控系统
【摘 要】
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针对多晶硅铸锭炉的温度控制,提出了一种基于微分先行算法的PID控制方法。应用结果说明,该PID控制方法能对多晶铸锭炉的温度进行有效控制。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第48研究所,国防科技大学研究生院
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2009年7期
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