【摘 要】
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采用溶胶凝胶法制备Zn2SnO4－LiZnVO4系陶瓷纳米粉体，用平面丝网印刷工艺在氧化铝基片上制备厚膜湿敏元件。与普通陶瓷粉体制备的元件相比，该元件低湿电阻小，长期稳定性较好。测量
【机 构】
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广州师范学院物理系,中山大学物理系
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采用溶胶凝胶法制备Zn2SnO4－LiZnVO4系陶瓷纳米粉体，用平面丝网印刷工艺在氧化铝基片上制备厚膜湿敏元件。与普通陶瓷粉体制备的元件相比，该元件低湿电阻小，长期稳定性较好。测量不同工作频率时的湿敏特性表明，元件在1kHz频率范围感湿线性最佳。复阻抗分析表明，采用溶胶凝胶法制备纳米粉体并控制烧结温度，可获得良好的微结构，是改善元件感湿特性的原因。
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