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论述了该源的工作原理,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布.设计采用了永久磁铁并利用极靴产生发散磁,沿轴向有较大梯度的磁场,又称该源为端部霍尔加速器.最后给出了束流及均匀区实测结果.
用于辅助镀膜的霍尔等离子体源
【摘 要】
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论述了该源的工作原理,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布.设计采用了永久磁铁并利用极靴产生发散磁,沿轴向有较大梯度的磁场,又称该源为端部霍尔加速器.最后给出了束流及均
【机 构】
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中国科学院空间科学与应用研究中心(北京)
【出 处】
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第十一届全国薄膜学术交流会
【发表日期】
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2001年11期
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