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一概述21世纪的微米纳米技术将对材料、器件和系统的发展带来根本性的突破,这包括它们的认识、设计、功能、制造和使用等多个方面.开发高性能的微系统(Micro Systems)和纳系统(Nano Systems)是微米纳米技术的最终目标之一,它研究微米到纳米尺度的材料、器件、系统机理、制造、测控、集成或组装技术.