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面向先进电子封装等领域对高速精密定位机构的需求,结合两种新型平面定位机构,对直接驱动并联机构的运动弹性动力学建模与仿真、基于扰动观测器的控制策略进行了研究.
高速精密平面定位机构的设计与应用
【摘 要】
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面向先进电子封装等领域对高速精密定位机构的需求,结合两种新型平面定位机构,对直接驱动并联机构的运动弹性动力学建模与仿真、基于扰动观测器的控制策略进行了研究.
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
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2005年4期
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