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论述了高性能聚酰亚胺材料作为ＭＣＭ－Ｄ的多层金属互联基板的层间介电材料的性能要求及其工艺过程。
高性能聚酰亚胺材料在MCM-D中的应用
【摘 要】
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论述了高性能聚酰亚胺材料作为ＭＣＭ－Ｄ的多层金属互联基板的层间介电材料的性能要求及其工艺过程。
【机 构】
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中国科学院化学研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1998年6期
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