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ＩＴＯ膜主要受溅射过程中溅射参数的影响．本文分析和验证真空和大气退火也改善和提高ＩＴＯ的特性，根据我们的实验条件，本文主要研究退火工艺对ＩＴＯ膜的面电阻、可见光透过率、热稳定性及晶向结构等特性的影响．
真空和大气退火对 ITO 膜特性的影响
【摘 要】
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ＩＴＯ膜主要受溅射过程中溅射参数的影响．本文分析和验证真空和大气退火也改善和提高ＩＴＯ的特性，根据我们的实验条件，本文主要研究退火工艺对ＩＴＯ膜的面电阻、可见光透过率、热稳定性及晶向结
【机 构】
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浙江大学信电系
【出 处】
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浙江大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1997年04期
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