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介绍一种采用矩形双岛硅膜结构,量程为6kPa的扩散硅低压传感器。该传感器具有非线性内补偿和20倍量程以上的过压保护功能。着重介绍了该产品的设计、芯片制造与封装工艺、温度系数补偿办法和传感器技术性能的测试结果。
新型扩散硅低压传感器
【摘 要】
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介绍一种采用矩形双岛硅膜结构,量程为6kPa的扩散硅低压传感器。该传感器具有非线性内补偿和20倍量程以上的过压保护功能。着重介绍了该产品的设计、芯片制造与封装工艺、温
【机 构】
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复旦大学,复旦大学
【出 处】
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自动化仪表
【发表日期】
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1992年11期
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