电沉积法制备CIGS薄膜的工艺研究

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电镀液中GaCl3,的浓度对电沉积法制备的CIGS薄膜光电性能有明显的影响,通过研究样品的开路光电压,找到了最优浓度。用退火工艺处理样品,可以获得平滑、致密的薄膜,且能增大薄膜中CIGS的结晶程度和含量。通过测试CIGS薄膜的XRD图谱,得知薄膜晶型为黄铜矿型。
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