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为了制备结晶质量好的Cu掺杂ZnO薄膜，研究其结构和光学性质，采用脉冲激光沉积方法，在Si衬底上选择不同的衬底温度来制备薄膜。实验成功制得了结晶质量较好的Cu掺杂ZnO薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和荧光分光光度计对样品进行了测量和分析。所制备的样品均表现出高度的C轴择优取向，衬底温度为300℃时，薄膜表面形貌均匀致密；在样品的光致发光谱中，发现样品除了在380hm附近出现紫外发光峰外，在460nm附近出现了蓝光发光峰，真正意义上实现了ZnO薄膜的蓝光发射。结果表明，衬底温度对其晶体质量有较大影响