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基于有耗传输线理论设计了频率为DC-3GHz的TaN微波功率薄膜匹配负载，采用HFSS软件仿真了匹配负载的频率特性。根据设计仿真结果，采用反应磁控溅射和掩模图形化方法制备了TaN微波功率薄膜匹配负载样品，基片为6mm×9mm×1mm的BeO陶瓷基片，TaN薄膜的直流电阻为50Ω。结果表明，实验结果与仿真结果基本一致，在DC-3GHz频率范围内，样品的电压驻波比（VSWR）都小于1．2。