原子层沉积HfO2薄膜的激光损伤特性分析

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yinyilin183
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以目前激光惯性约束聚变中应用最广泛的高折射率材料二氧化铪(HfO。)为研究对象,在熔石英基底上分别采用TEMAH和HfClt前驱体制备了HfOz薄膜,沉积温度分别为100,200和300℃。采用椭偏仪和激光量热计对薄膜的光学性能进行了测量分析,采用x射线衍射仪(XRD)对薄膜的微结构进行了测量。最后在小口径激光阈值测量平台上按照1-on-1测量模式对薄膜的损伤阈值进行了测试,并采用扫描电子显微镜(SEM)对损伤形貌进行了分析。研究表明,用同一种前驱体源时,随着沉积温度升高,薄膜折射率增加,吸收增多,损伤阈
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