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<正> 前言需用超高纯气体的半导体工业是现在发展最快的工业之一。为了满足需要,特气生产者不断开发了先进的分离、提纯和配气技术,可得到各种有保证的纯度等级的特气,其中包括7级(99.99999％)的特气。这是工业中应用的最纯气体。为了防止这些超纯气体被二次污染,气体钢瓶及有关气体处理设备应尽可能达到清洁和化学稳定。本文说明电解抛光是达到这一目的的最好方法。