【摘 要】
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利用TCAD软件对单层多晶EEPROM器件特性进行了模拟分析，介绍了单层多晶EEPROM存储单元结构与原理的基础，针对TCAD软件中模拟分析单层多晶EEPROM器件特性时存在的困难，提出了一种
【基金项目】
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安徽省自然科学基金资助项目(05040202);安徽省教育厅自然科学重点科研计划项目资助(2006KJ026A)
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利用TCAD软件对单层多晶EEPROM器件特性进行了模拟分析，介绍了单层多晶EEPROM存储单元结构与原理的基础，针对TCAD软件中模拟分析单层多晶EEPROM器件特性时存在的困难，提出了一种两个MOS管外加电阻的等效模型来替代单层多晶EEPROM存储单元结构进行等效模拟。通过编程模拟了单层多晶EEPROM器件性能，模拟分析得到的特性曲线与理论曲线能较好吻合．验证了等效模型方案的可行性。
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