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扫描探针针尖与试样间的静电力分析与建模
扫描探针针尖与试样间的静电力分析与建模
来源 :计算物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:myxiu
【摘 要】
:
针对主体为圆锥、尖端为球冠的扫描探针针尖物理模型,提出了针尖与试样之间等效电场分布假设,基于该假设导出了二者之间静电力的解析模型,分析了针尖结构参数与静电力间的关
【作 者】
:
王洪喜
贾建援
赵剑
【机 构】
:
西安电子科技大学机电工程学院
【出 处】
:
计算物理
【发表日期】
:
2006年3期
【关键词】
:
针尖
静电力
静电力显微镜
tip electrostatic force EFM
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针对主体为圆锥、尖端为球冠的扫描探针针尖物理模型,提出了针尖与试样之间等效电场分布假设,基于该假设导出了二者之间静电力的解析模型,分析了针尖结构参数与静电力间的关系.模拟计算结果和数值计算结果一致,并与相关的实验结果吻合,证实了电场分布假设的合理性.
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