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本文双ＣＺ硅单晶中氧含量的测试实验中找出了我厂４英寸电路级ＣＺ硅单晶中氧的轴向分布规律，为生产检测中按规定氧含量切割单晶提供了准确的实验数据。另外，本文还对影响ＣＺ硅单昌氧含量及轴向分布的因素作了初步的探讨。
CZ硅单晶中氧含量轴向分布的测试研究
【摘 要】
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本文双ＣＺ硅单晶中氧含量的测试实验中找出了我厂４英寸电路级ＣＺ硅单晶中氧的轴向分布规律，为生产检测中按规定氧含量切割单晶提供了准确的实验数据。另外，本文还对影响ＣＺ硅单昌氧含量及
【机 构】
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峨嵋半导体材料厂、所
【出 处】
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四川有色金属
【发表日期】
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1998年4期
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