【摘 要】
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针对短脉冲激光打靶用溅射防护聚合物薄膜做了初步研究.研究了氟化乙丙共聚物（FEP）、全氟烷氧基共聚物和乙烯四氟乙烯共聚物三种厚度均为25 μm的聚合物薄膜的透过率,结果表明F
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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针对短脉冲激光打靶用溅射防护聚合物薄膜做了初步研究.研究了氟化乙丙共聚物（FEP）、全氟烷氧基共聚物和乙烯四氟乙烯共聚物三种厚度均为25 μm的聚合物薄膜的透过率,结果表明FEP薄膜在355 nm处光透过率达93％,有望用于激光打靶的溅射防护.进一步对FEP聚合物薄膜的波前畸变、激光损伤阈值进行了研究,结果表明φ80 mm的聚合物薄膜在632.8 nm处的透射波前畸变的峰谷值（PV值）为波长的1.006倍;在采用输出波长355 nm,脉冲宽度9.3 ns的Nd：YAG激光为照射光源波长处,薄膜零损伤概率时
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